Mikro- und Nanotechnologie-Zentren

Die Einrichtungen der ICF stehen Institutsangehörigen sowie externen Nutzern der Universität und anderer öffentlicher Einrichtungen zur Nutzung zur Verfügung. Ein Schwerpunkt liegt auf der Herstellung von Proben und Bauteilen. Vorhanden sind Methoden wie Nanostrukturierung mittels Elektronenstrahllithographie, Mikrostrukturierung mittels optischer Lithographie, Herstellung von Bauteilen der organischen Elektronik mittels nasschemischer und vakuumbasierter Prozesse in Handschuboxen und Verdampfern für Metalle und organische Materialien. Für diese Methoden steht ein Reinraum (260m², ISO 4 bis ISO 8) zur Verfügung. Ein weiterer Schwerpunkt sind Analysemethoden wie verschiedene optische Spektroskopiemethoden (IR, UV-vis, Fluoreszenz), Röntgendiffraktometrie, Schichtdickenbestimmung und optische Mikroskopie. Die verschiedenen Methoden werden teils im Nutzerbetrieb und für ausgewählte Geräte auch im Servicebetrieb angeboten.