Die Arbeitsgruppe Elektronenmikroskopie des Instituts für Festkörperphysik beschäftigt sich mit der Entwicklung quantitativer elektronenmikroskopischer Methoden und besteht zur Zeit aus etwa 10 Mitarbeitern, welche über ausgedehnte Fachkenntnisse im Bereich der Elektronenmikroskopie und der Materialwissenschaft verfügen. Als Teil des Instituts für Festkörperphysik liegt der Schwerpunkt in der Analyse von Nanostrukturen wie beispielsweise Nanodrähten, Halbleiterheterostrukturen, halbleitenden Oxidmaterialien, nanoporösem Gold und metallische Nanopartikel. Neben diversen Geräten zur Probenpräparation steht der Arbeitsgruppe ein FEI Nova 200 Nanolab Dualbeamsystem zur Verfügung. Das im Jahr 2008 installierte FEI TITAN 80-300 Transmissionselektronenmikroskop (TEM) mit Aberrationskorrektor für die Objekivlinse erlaubt hochaufgelöste Untersuchungen im Subnanometer- bzw. Subangströmbereich. Das TITAN-Mikroskop ist neben einem Si(Li) EDX-Detektor auch mit einem Energiefilter ausgerüstet. Im Jahr 2021 wurde die Arbeitsgruppe mit einem Thermo-Fisher SPECTRA 300 TEM mit Korrektor für die strahlformende Linse ausgestattet. Als weitere Besonderheiten verfügt das Gerät über einen Monochromator, einen Super-X Röntgendetekor, einen pixelbasierten Detektor (EMPAD) mit einer Aufnahmerate von 1000 Bilder pro Sekunde und mehrere Tomographiehalter. Die Elektronenmikroskope der Arbeitsgruppe sind dem Großgerätezentrum "MAPEX Center for Materials and Processes" eingegliedert.